bạn đang tìm kiếm cái gì
?
Arbon Fiber Membrane Forming Hot and Cold Integrated Machine
The precision temperature control chiller-heater unit dedicated to the semiconductor industry is a key process equipment integrating heating, cooling and closed-loop temperature control. It can achieve precise temperature control within ±0.05℃ to ±0.1℃ in a wide range of -100℃ to +300℃, providing a stable thermal environment for processes such as lithography, etching, doping and packaging testing, which directly affects the yield and performance of chips.
Số mục :
LCH-30W(A)-60KWĐơn hàng (MOQ) :
1Sự chi trả :
EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDUNguồn gốc sản phẩm :
CHINAMàu sắc :
CustomizableCảng vận chuyển :
SHANGHAI/NANJINGThời gian dẫn :
25Cân nặng :
300KG
Integrated hot and cold temperature control unit
The equipment is based on a refrigeration cycle with compression and electric heating compensation, and achieves high-precision temperature control through a closed-loop control system:
Refrigeration side: Compressor → Condenser → Expansion Valve → Evaporator. The refrigerant phase change is utilized to remove heat, allowing the temperature to drop rapidly to -100℃ or lower.
Heating side: The PID algorithm drives the electric heater to precisely compensate for heat, achieving temperature rise and stable constant temperature.
Closed-loop control: PT100/PT1000 platinum resistance sensors continuously collect the medium temperature, combined with feedforward-PID or model predictive control (MPC), dynamically adjust the cooling/heating power, suppress load disturbances, and the steady-state accuracy can reach ±0.05℃.
Clean circulation: Fully sealed pipeline + oil-free design, avoiding medium contamination, in line with SEMI S2/S8 standards, suitable for fluorinated liquids, ethylene glycol water solutions and other special heat-conducting media.
FeaturesLithography process: Cool the DUV/EUV light source and optical system, with temperature control accuracy of ±0.05℃, to prevent thermal expansion from causing overlay errors.
Etching process: Adjust the temperature of the etching solution (20℃~80℃), stabilize the etching rate, and reduce the surface roughness of the wafer.
Doping and annealing: Thermal diffusion (150℃~300℃), post-ions injection annealing (80℃~200℃), to repair lattice damage and activate dopant atoms.
Packaging and testing: High and low temperature cycling (-40℃~+150℃) to simulate extreme environments, verify device reliability, with temperature rise and fall rates up to 5℃/min.
Wafer-level heat dissipation: Multi-channel independent temperature control, providing uniform cooling for advanced packaging (such as CoWoS, Chiplet), suppressing thermal crosstalk.
Q1:Unable to Reach the Set Temperature
A1:This may be caused by refrigerant leakage, compressor failure, or blockage in the circulation system. It is necessary to check if the refrigerant is sufficient, repair the leakage point and recharge the refrigerant; inspect the status of the compressor and perform maintenance or replacement if needed; clean the circulation system to eliminate blockages.
Q2:Abnormal noise from the water pump or failure to operate normally.
A2:Inspect the condition of the water pump impellers and bearings; replace them if damaged. Check whether the motor connections are in good condition and ensure the power supply is normal.
Q3:Slow Heating/Cooling Rate
A3:Ensure the heater/cooler is functioning properly; it may be necessary to replace the electric heating element or refrigeration element. Check if the heat exchanger is blocked or contaminated—cleaning the heat exchanger can restore its performance. Ensure the refrigerant circulates smoothly; it may be required to inspect and clean the refrigerant pipelines.
Q4:Can you provide OEM or customized solutions?
A4: Yes, we offer OEM service and tailor-made temperature control systems according to your specific process requirements (temperature range, medium, cooling capacity, etc.).
The precision temperature control chiller-heater unit dedicated to the semiconductor industry is a key process equipment integrating heating, cooling and closed-loop temperature control. It can achieve precise temperature control within ±0.05℃ to ±0.1℃ in a wide range of -100℃ to +300℃, providing a stable thermal environment for processes such as lithography, etching, doping and packaging testing, which directly affects the yield and performance of chips.
ĐỌC THÊM
Thiết bị gia nhiệt-làm mát tích hợp đóng vai trò là thiết bị kiểm soát nhiệt độ quan trọng trong ngành công nghiệp bán dẫn, chủ yếu cung cấp khả năng điều chỉnh nhiệt độ chính xác và ổn định cho thiết bị và phôi gia công trong quá trình sản xuất và thử nghiệm bán dẫn nhằm đảm bảo năng suất quy trình và hiệu suất sản phẩm.
ĐỌC THÊM
Thiết bị làm lạnh-gia nhiệt điều khiển nhiệt độ chính xác chuyên dụng cho ngành công nghiệp bán dẫn là thiết bị xử lý quan trọng tích hợp gia nhiệt, làm mát và điều khiển nhiệt độ vòng kín. Thiết bị này có thể đạt được khả năng điều khiển nhiệt độ chính xác trong phạm vi ±0,05℃ đến ±0,1℃ trên dải rộng từ -100℃ đến +300℃, cung cấp môi trường nhiệt ổn định cho các quy trình như quang khắc, khắc axit, pha tạp và kiểm tra đóng gói, ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và hiệu quả hoạt động của sản phẩm. khoai tây chiên.
ĐỌC THÊM
Máy gia nhiệt và làm mát tích hợp điều khiển PLC thông minh dùng cho phản ứng trùng hợp hóa học là thiết bị điều khiển nhiệt độ chính xác cao, tích hợp gia nhiệt, làm mát, tuần hoàn và điều khiển thông minh. Cốt lõi của thiết bị này đạt được khả năng điều khiển phạm vi nhiệt độ rộng (thường từ -80℃ đến 300℃) với độ chính xác ±0,1℃ thông qua PLC + màn hình cảm ứng + thuật toán PID. Thiết bị được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu cốt lõi của phản ứng trùng hợp với sự tỏa nhiệt mạnh, điều khiển nhiệt độ nhiều giai đoạn và ngăn ngừa hiện tượng "quá nhiệt/lò phản ứng chết". Thiết bị này là thiết bị quan trọng trong quá trình tổng hợp polymer.
ĐỌC THÊM
The high precision temperature control unit provides a key temperature control solution for the carbon fiber compression molding industry through precise temperature control, efficient heating and cooling cycle, and intelligent process adaptation, effectively improving product quality, production efficiency and material utilization rate, and is the core guarantee for realizing high-performance, high-quality and high-efficiency production of carbon fiber composite materials.
ĐỌC THÊM
Thiết bị sưởi ấm và làm mát tích hợp là thiết bị kiểm soát nhiệt độ công nghiệp sử dụng nước làm môi trường truyền nhiệt và có thể đồng thời sưởi ấm, làm mát và kiểm soát nhiệt độ chính xác.
ĐỌC THÊM
Thiết bị sưởi ấm và làm mát tích hợp là thiết bị kiểm soát nhiệt độ công nghiệp có thể đồng thời thực hiện chức năng sưởi ấm và làm mát, đồng thời điều chỉnh chính xác nhiệt độ mục tiêu.
ĐỌC THÊM
Thiết bị này áp dụng thiết kế "tuần hoàn kép + liên kết thông minh". Thông qua hoạt động phối hợp của hệ thống làm lạnh, hệ thống sưởi, đường ống tuần hoàn và hệ thống điều khiển thông minh, nó đạt được khả năng điều chỉnh nhiệt độ chính xác.
ĐỌC THÊM
IPv6 MẠNG ĐƯỢC HỖ TRỢ
Để lại tin nhắn
Scan to Wechat/Whatsapp :
English
Español
عربي
Melayu
Tiếng Việt
