bạn đang tìm kiếm cái gì
?
Sản phẩm mới nhất của Nanjing Lidesheng: Máy thử chu kỳ nhiệt độ (-60°C đến 300°C) dành cho ngành công nghiệp bán dẫn.
Thiết bị làm lạnh-gia nhiệt điều khiển nhiệt độ chính xác chuyên dụng cho ngành công nghiệp bán dẫn là thiết bị xử lý quan trọng tích hợp gia nhiệt, làm mát và điều khiển nhiệt độ vòng kín. Thiết bị này có thể đạt được khả năng điều khiển nhiệt độ chính xác trong phạm vi ±0,05℃ đến ±0,1℃ trên dải rộng từ -100℃ đến +300℃, cung cấp môi trường nhiệt ổn định cho các quy trình như quang khắc, khắc axit, pha tạp và kiểm tra đóng gói, ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và hiệu quả hoạt động của sản phẩm. khoai tây chiên.
Số mục :
LCH-05W(A)-10WĐơn hàng (MOQ) :
1Sự chi trả :
EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDUNguồn gốc sản phẩm :
CHINAMàu sắc :
CustomizableCảng vận chuyển :
SHANGHAI/NANJINGThời gian dẫn :
22Cân nặng :
160KG
Tích hợp nóng và lạnh đơn vị điều khiển nhiệt độ
Thiết bị này dựa trên chu trình làm lạnh có nén và bù nhiệt bằng điện, đạt được khả năng điều khiển nhiệt độ chính xác cao thông qua hệ thống điều khiển vòng kín:
Hệ thống làm lạnh: Máy nén → Bộ ngưng tụ → Van giãn nở → Bộ bay hơi. Sự thay đổi pha của chất làm lạnh được sử dụng để loại bỏ nhiệt, cho phép nhiệt độ giảm nhanh xuống -100℃ hoặc thấp hơn.
Về phía gia nhiệt: Thuật toán PID điều khiển bộ gia nhiệt điện để bù nhiệt chính xác, giúp đạt được sự tăng nhiệt độ và duy trì nhiệt độ ổn định.
Điều khiển vòng kín: Các cảm biến điện trở bạch kim PT100/PT1000 liên tục thu thập nhiệt độ môi chất, kết hợp với điều khiển PID phản hồi hoặc điều khiển dự đoán mô hình (MPC), điều chỉnh công suất làm mát/sưởi ấm một cách linh hoạt, triệt tiêu nhiễu tải và độ chính xác trạng thái ổn định có thể đạt ±0,05℃.
Tuần hoàn sạch: Đường ống kín hoàn toàn + thiết kế không dầu, tránh ô nhiễm môi chất, phù hợp với tiêu chuẩn SEMI S2/S8, thích hợp cho chất lỏng chứa flo, dung dịch nước ethylene glycol và các môi chất dẫn nhiệt đặc biệt khác.
Đặc trưngQuy trình in thạch bản: Làm mát nguồn sáng DUV/EUV và hệ thống quang học với độ chính xác kiểm soát nhiệt độ ±0,05℃ để ngăn ngừa sự giãn nở nhiệt gây ra lỗi chồng ảnh.
Quy trình khắc: Điều chỉnh nhiệt độ dung dịch khắc (20℃~80℃), ổn định tốc độ khắc và giảm độ nhám bề mặt của tấm wafer.
Pha tạp và ủ nhiệt: Khuếch tán nhiệt (150℃~300℃), ủ nhiệt sau khi tiêm ion (80℃~200℃), để sửa chữa hư hỏng mạng tinh thể và kích hoạt các nguyên tử pha tạp.
Đóng gói và thử nghiệm: Chu kỳ nhiệt độ cao và thấp (-40℃~+150℃) để mô phỏng môi trường khắc nghiệt, xác minh độ tin cậy của thiết bị, với tốc độ tăng và giảm nhiệt độ lên đến 5℃/phút.
Tản nhiệt ở cấp độ wafer: Điều khiển nhiệt độ độc lập đa kênh, cung cấp khả năng làm mát đồng đều cho các công nghệ đóng gói tiên tiến (như CoWoS, Chiplet), ngăn chặn hiện tượng nhiễu nhiệt.
Câu hỏi 1: Không đạt được nhiệt độ cài đặt
A1: Nguyên nhân có thể là do rò rỉ môi chất lạnh, hỏng máy nén hoặc tắc nghẽn trong hệ thống tuần hoàn. Cần kiểm tra xem lượng môi chất lạnh có đủ không, sửa chữa điểm rò rỉ và nạp lại môi chất lạnh; kiểm tra tình trạng máy nén và tiến hành bảo dưỡng hoặc thay thế nếu cần; làm sạch hệ thống tuần hoàn để loại bỏ tắc nghẽn.
Câu hỏi 2: Máy bơm nước phát ra tiếng ồn bất thường hoặc không hoạt động bình thường.
A2: Kiểm tra tình trạng cánh quạt và bạc đạn của bơm nước; thay thế nếu bị hư hỏng. Kiểm tra xem các kết nối động cơ có hoạt động tốt không và đảm bảo nguồn điện hoạt động bình thường.
Câu 3: Tốc độ làm nóng/làm nguội chậm
A3: Đảm bảo máy sưởi/làm mát hoạt động bình thường; có thể cần phải thay thế bộ phận gia nhiệt điện hoặc bộ phận làm lạnh. Kiểm tra xem bộ trao đổi nhiệt có bị tắc nghẽn hoặc nhiễm bẩn không — việc làm sạch bộ trao đổi nhiệt có thể khôi phục hiệu suất của nó. Đảm bảo chất làm lạnh lưu thông trơn tru; có thể cần phải kiểm tra và làm sạch các đường ống dẫn chất làm lạnh.
Câu 4: Bạn có thể cung cấp giải pháp OEM hoặc giải pháp tùy chỉnh không?
A4: Có, chúng tôi cung cấp dịch vụ OEM và hệ thống điều khiển nhiệt độ được thiết kế riêng theo yêu cầu quy trình cụ thể của bạn (phạm vi nhiệt độ, môi chất, công suất làm mát, v.v.).
Thiết bị gia nhiệt-làm mát tích hợp đóng vai trò là thiết bị kiểm soát nhiệt độ quan trọng trong ngành công nghiệp bán dẫn, chủ yếu cung cấp khả năng điều chỉnh nhiệt độ chính xác và ổn định cho thiết bị và phôi gia công trong quá trình sản xuất và thử nghiệm bán dẫn nhằm đảm bảo năng suất quy trình và hiệu suất sản phẩm.
ĐỌC THÊM
Thiết bị làm lạnh-gia nhiệt điều khiển nhiệt độ chính xác chuyên dụng cho ngành công nghiệp bán dẫn là thiết bị xử lý quan trọng tích hợp gia nhiệt, làm mát và điều khiển nhiệt độ vòng kín. Thiết bị này có thể đạt được khả năng điều khiển nhiệt độ chính xác trong phạm vi ±0,05℃ đến ±0,1℃ trên dải rộng từ -100℃ đến +300℃, cung cấp môi trường nhiệt ổn định cho các quy trình như quang khắc, khắc axit, pha tạp và kiểm tra đóng gói, ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và hiệu quả hoạt động của sản phẩm. khoai tây chiên.
ĐỌC THÊM
Máy gia nhiệt và làm mát tích hợp điều khiển PLC thông minh dùng cho phản ứng trùng hợp hóa học là thiết bị điều khiển nhiệt độ chính xác cao, tích hợp gia nhiệt, làm mát, tuần hoàn và điều khiển thông minh. Cốt lõi của thiết bị này đạt được khả năng điều khiển phạm vi nhiệt độ rộng (thường từ -80℃ đến 300℃) với độ chính xác ±0,1℃ thông qua PLC + màn hình cảm ứng + thuật toán PID. Thiết bị được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu cốt lõi của phản ứng trùng hợp với sự tỏa nhiệt mạnh, điều khiển nhiệt độ nhiều giai đoạn và ngăn ngừa hiện tượng "quá nhiệt/lò phản ứng chết". Thiết bị này là thiết bị quan trọng trong quá trình tổng hợp polymer.
ĐỌC THÊM
Thiết bị sưởi ấm và làm mát tích hợp là thiết bị kiểm soát nhiệt độ công nghiệp sử dụng nước làm môi trường truyền nhiệt và có thể đồng thời sưởi ấm, làm mát và kiểm soát nhiệt độ chính xác.
ĐỌC THÊM
Thiết bị sưởi ấm và làm mát tích hợp là thiết bị kiểm soát nhiệt độ công nghiệp có thể đồng thời thực hiện chức năng sưởi ấm và làm mát, đồng thời điều chỉnh chính xác nhiệt độ mục tiêu.
ĐỌC THÊM
Thiết bị này áp dụng thiết kế "tuần hoàn kép + liên kết thông minh". Thông qua hoạt động phối hợp của hệ thống làm lạnh, hệ thống sưởi, đường ống tuần hoàn và hệ thống điều khiển thông minh, nó đạt được khả năng điều chỉnh nhiệt độ chính xác.
ĐỌC THÊM
IPv6 MẠNG ĐƯỢC HỖ TRỢ
Để lại tin nhắn
Scan to Wechat/Whatsapp :
English
Español
عربي
Melayu
Tiếng Việt
